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令和 元年度(2019年度)第5回 物理教室談話会
題目 | 放射光ナノビームX線回折による薄膜・ナノ構造の評価 |
講師 | 木村 滋 氏 ((公財)高輝度光科学研究センター 回折・散乱推進室 室長)) |
日時 | 令和 元年12月19日(木) 16:20~ |
場所 | コラボレーションセンター 3階307室(コラボレーション室) |
概要 |
SPring-8のような第三世代放射光源は光源サイズが小さいため,マイクロ/ナノビーム形成に有利である。そのため,最近では多様な放射光測定がマイクロ/ナノビームで行われるようになってきた。
我々もX線回折をナノビームで行うために位相ゾーンプレートをX線集光素子として利用するナノビームX線回折装置の開発を続けており,現状では100 nm程度までのビームが利用可能となっている。 本講演では,SPring-8のBL13XUで開発してきた放射光ナノビームX線回折装置の特長と利用実験例を紹介するとともに,今後の応用展開についても展望したい。 |
世話人 | 池田 直(内線7810) |